從產(chǎn)品研發(fā)到質(zhì)量控制，該系統(tǒng)可以用于從超光滑鏡面到粗糙面的各種樣品進(jìn)行表面微觀測(cè)量分析和粗糙度質(zhì)量評(píng)價(jià)。白光干涉原理。

Profilm 3D是一款兼具垂直掃描干涉 (VSI)和高精確度相移干涉 (PSI) 技術(shù)的經(jīng)濟(jì)三維光學(xué)輪廓儀，其可以用于多種用途的高精度表面測(cè)量。我司有此機(jī)器...

P-170是cassette-to-cassette探針式輪廓儀，將P-17臺(tái)式系統(tǒng)的測(cè)量性能和經(jīng)過生產(chǎn)驗(yàn)證的HRP®-260的機(jī)械傳送臂相結(jié)合。 這...

自動(dòng)晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀P17。該系統(tǒng)支持對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力2D和3D測(cè)量，掃描可達(dá)200mm無需圖像拼接。結(jié)合UltraLite®...

P-7晶圓探針式輪廓儀/臺(tái)階儀保持了P-17技術(shù)的測(cè)量性能，并作為臺(tái)式探針輪廓儀平臺(tái)提供了好的性價(jià)比。 P-7可以對(duì)臺(tái)階高度、粗糙度、翹曲度和應(yīng)力進(jìn)行2D和3D...

非接觸式優(yōu)點(diǎn)就是測(cè)量裝置探測(cè)部分不與被測(cè)表面的直接接觸，保護(hù)了測(cè)量裝置，同時(shí)避免了與測(cè)量裝置直接接觸引入的測(cè)量誤差。Zeta-20三維光學(xué)輪廓儀集成了六種光學(xué)計(jì)...

KLA先進(jìn)的探針式臺(tái)階儀Alpha-Step D-600，帶有電動(dòng)載物臺(tái)。可測(cè)量納米級(jí)至1200um臺(tái)階高度，并可分析薄膜表面粗糙度、波紋度、應(yīng)力。且其具有5....

產(chǎn)品類型：白光、共軛焦、非接觸μSurf結(jié)合CCD的影像攝取，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測(cè)器的孔洞，再將物鏡垂直移動(dòng)，以類似斷層攝影方式，精確量測(cè)物體高度(如下...

μScan采用模塊化設(shè)計(jì)，特點(diǎn)是快速測(cè)量、不接觸、不破壞、自動(dòng)化，μScan的中心部件掃描模塊(x/y方向樣品掃描)可以和不同的傳感器，(Z方向測(cè)量)連用，如C...

AF2 自動(dòng)對(duì)焦(Autofocus)借由探測(cè)器的回饋訊號(hào)調(diào)整物鏡位置，得到待測(cè)物焦點(diǎn)，而獲得待測(cè)物的確實(shí)高度(如下左圖)。CF4 共軛焦(Confocal, ...